(1993). Modeling of chemical vapor deposition of tungsten films / Chris R. Kleijn, Christoph Werner.
Chicago-viite (17. p.)Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films / Chris R. Kleijn, Christoph Werner. 1993.
MLA-viite (9. p.)Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films / Chris R. Kleijn, Christoph Werner. 1993.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.