Summary goes here
שמור ב:
| פורמט: | ספר |
|---|---|
| שפה: | אנגלית |
| נושאים: | |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
| era | |
|---|---|
| format | Book |
| genre | |
| geographic | |
| id | 952cd946-db62-4e78-b6dc-ce8da09be608 |
| isbn | 9783540431435 (alk. paper) |
| issn | |
| language | eng |
| physical | viii, 142 pages :illustrations ;25 cm |
| publication | – publisher: Springer dateOfPublication: ©2002 |
| publishDate | ©2002 |
| subjects | |
| title | CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications / D. Lange, O. Brand, H. Baltes. |
| topic | Atomic force microscopy Gas detectors Levers Metal oxide semiconductors, Complementary Microelectromechanical systems |